隨著人工智能工作負(fù)載、高性能計(jì)算（HPC）以及超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心不斷挑戰(zhàn)帶寬與能效的極限，硅光子技術(shù)已成為一項(xiàng)關(guān)鍵使能技術(shù)。但隨著器件從研發(fā)階段邁向生產(chǎn)階段，對(duì)晶圓測(cè)試方法的要求也急劇提升。
為研發(fā)而設(shè)計(jì)的測(cè)試方案，在吞吐量、重復(fù)性和自動(dòng)化程度至關(guān)重要的量產(chǎn)環(huán)境中往往難以為繼。TRITON? 則改變了這一局面。
作為業(yè)界首款專為生產(chǎn)環(huán)境打造的全集成式硅光子測(cè)試單元，TRITON 將實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的精度與晶圓廠所需的可擴(kuò)展性集于一身。
彌合研發(fā)與量產(chǎn)晶圓測(cè)試之間的鴻溝
過(guò)去十余年間，F(xiàn)ormFactor 憑借 SUMMIT200-SiPh 和 CM300xi-SiPh 等平臺(tái)，持續(xù)為硅光子技術(shù)創(chuàng)新提供支持。這些系統(tǒng)幫助確立了工程師在研發(fā)環(huán)境中進(jìn)行高精度晶圓級(jí)測(cè)試的方式。
然而，轉(zhuǎn)向量產(chǎn)階段會(huì)面臨一系列截然不同的挑戰(zhàn)：
??保持大規(guī)模測(cè)試中的測(cè)量精度
??減少設(shè)置與校準(zhǔn)時(shí)間
??確保數(shù)千片晶圓間測(cè)試的可重復(fù)性
??集成至自動(dòng)化晶圓廠環(huán)境
TRITON 正是為解決這些挑戰(zhàn)而生，它讓用戶無(wú)需重新設(shè)計(jì)整套測(cè)試方案，即可輕松從研發(fā)階段過(guò)渡至大規(guī)模晶圓測(cè)試。該平臺(tái)為團(tuán)隊(duì)提供了一條從器件早期驗(yàn)證到全面量產(chǎn)的一致的演進(jìn)路徑。
面向量產(chǎn)的硅光子測(cè)試單元
TRITON 超越了傳統(tǒng)的探針臺(tái)，是一款為真實(shí)制造環(huán)境打造的全集成式晶圓測(cè)試解決方案。
該系統(tǒng)由 FormFactor 與愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試 (Advantest) 及東京電子 (TEL) 合作開(kāi)發(fā)，將光學(xué)探測(cè)、電性測(cè)試、自動(dòng)化晶圓傳輸及工廠自動(dòng)化功能集于一個(gè)同步協(xié)作的統(tǒng)一平臺(tái)。
通過(guò)將所有功能集成于單一系統(tǒng)，TRITON摒棄了碎片化測(cè)試方案的復(fù)雜性。工程師無(wú)需再拼湊多種設(shè)備與工作流程，僅憑這一統(tǒng)一平臺(tái)，即可在提升產(chǎn)能的同時(shí)，確保晶圓間測(cè)試的高度一致性。
納米精度自動(dòng)光子對(duì)準(zhǔn)
硅光子晶圓測(cè)試中最大的挑戰(zhàn)之一在于實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)。即便微小的偏差，也可能影響測(cè)量精度和良率。
TRITON 通過(guò)九軸納米精度對(duì)準(zhǔn)技術(shù)有效應(yīng)對(duì)這一難題，可實(shí)現(xiàn)：
??高精度的光纖與器件定位
??跨晶圓及批量生產(chǎn)的一致對(duì)準(zhǔn)
??減少人工干預(yù)
憑借優(yōu)于 0.3 dB 的耦合功率重復(fù)性，工程師可以充分信賴其測(cè)量的穩(wěn)定性和可靠性。
這一精度水平得益于先進(jìn)的隔振技術(shù)、穩(wěn)固的機(jī)械穩(wěn)定性以及自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)流程。其最終成果是：即便在量產(chǎn)規(guī)模下，該系統(tǒng)也能提供實(shí)驗(yàn)室級(jí)別的精度。
單一平臺(tái)實(shí)現(xiàn)靈活的光學(xué)耦合
硅光子器件架構(gòu)在持續(xù)演進(jìn)，測(cè)試策略也需隨之發(fā)展。
TRITON 在同一個(gè)系統(tǒng)內(nèi)同時(shí)支持端面耦合和表面耦合，使工程師無(wú)需更換設(shè)置即可處理光柵耦合、溝槽耦合及端面耦合等多種器件。該平臺(tái)與 FormFactor 的 Pharos? 光學(xué)探針集成后，能夠在晶圓級(jí)直接實(shí)現(xiàn)超低損耗的端面耦合。
通過(guò)將這些能力整合至一個(gè)測(cè)試單元，TRITON 消除了對(duì)多種測(cè)試設(shè)置的需求，從而簡(jiǎn)化工作流程，并在器件設(shè)計(jì)變更時(shí)縮短測(cè)試時(shí)間。
全自動(dòng)光電協(xié)同測(cè)量
現(xiàn)代硅光子器件需要高度同步的光學(xué)與電學(xué)測(cè)試。TRITON 直接與愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試的 V93000 (93k) 平臺(tái)集成，可在單一測(cè)試流程中實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)協(xié)同測(cè)量。
得益于所有環(huán)節(jié)的高度集成，工程師只需極少量的人工操作即可運(yùn)行復(fù)雜的測(cè)試序列。校準(zhǔn)、光學(xué)掃描和測(cè)量均可在同一個(gè)自動(dòng)化流程中完成，從而提升了跨晶圓及跨測(cè)試周期的重復(fù)性。
這種自動(dòng)化水平不僅能提高吞吐量，還有助于消除人工操作帶來(lái)的可變性。
面向量產(chǎn)效率的高密度晶圓測(cè)試
隨著硅光子技術(shù)邁向大規(guī)模量產(chǎn)，測(cè)試效率成為影響整體制造成本與良率的關(guān)鍵因素。
TRITON 支持高密度配置，包括：
??MF80 和 MF130 探針卡
??光纖陣列單元（FAU）
??晶圓級(jí)并行器件測(cè)試
高密度晶圓探測(cè)是實(shí)現(xiàn)硅光子制造規(guī)?；瘮U(kuò)產(chǎn)的核心，對(duì)于人工智能互連和共封裝光學(xué)等性能與產(chǎn)量并重的應(yīng)用而言尤為關(guān)鍵。
專為工廠自動(dòng)化而設(shè)計(jì)
TRITON 旨在無(wú)縫集成到現(xiàn)代半導(dǎo)體晶圓廠及 OSAT（外包半導(dǎo)體封裝與測(cè)試）環(huán)境中。
該系統(tǒng)支持天車傳輸系統(tǒng)（OHT），符合 SECS/GEM 工廠自動(dòng)化標(biāo)準(zhǔn)，并具備自動(dòng)分揀與數(shù)據(jù)追蹤能力。這些功能使 TRITON 能夠作為全自動(dòng)化生產(chǎn)線的一部分運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、一致且可重復(fù)的晶圓測(cè)試。
TRITON 并非將實(shí)驗(yàn)室工具改造用于生產(chǎn)，而是從底層開(kāi)始便為滿足制造環(huán)境的實(shí)際需求而設(shè)計(jì)。
簡(jiǎn)化復(fù)雜工作流程的強(qiáng)大軟件
TRITON 卓越性能的背后，是一套專為生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)的強(qiáng)大軟件工具。
??SiPh Tools?負(fù)責(zé)管理晶圓級(jí)光學(xué)工作流程、校準(zhǔn)程序以及高密度測(cè)試執(zhí)行。
??ritonConnect?簡(jiǎn)化了操作員與自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、微動(dòng)定位及系統(tǒng)控制之間的交互。
這些工具協(xié)同工作，在縮短測(cè)試時(shí)間的同時(shí)，依然能夠?yàn)橄乱淮韫庾悠骷峁┧璧木取?/p>
賦能下一代人工智能與數(shù)據(jù)中心創(chuàng)新
硅光子技術(shù)是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)中最具挑戰(zhàn)性的一些應(yīng)用的核心所在。
??人工智能與機(jī)器學(xué)習(xí)基礎(chǔ)設(shè)施
??共封裝光學(xué)（CPO）
??高速數(shù)據(jù)中心互連
??高性能計(jì)算（HPC）
這些應(yīng)用要求晶圓測(cè)試解決方案既能提供高精度，又能實(shí)現(xiàn)規(guī)?；瘮U(kuò)展。TRITON 正是為滿足這些需求而設(shè)計(jì)，它集納米精度對(duì)準(zhǔn)、低損耗光學(xué)探測(cè)、同步協(xié)同測(cè)量以及全面的工廠自動(dòng)化于一身。
TRITON 對(duì)晶圓測(cè)試創(chuàng)新的重要意義
晶圓測(cè)試在半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)于提高良率、減少缺陷以及確保器件可靠性起著至關(guān)重要的作用。
TRITON 通過(guò)以下方式推動(dòng)了晶圓測(cè)試技術(shù)的進(jìn)步：
??將光學(xué)測(cè)試與電學(xué)測(cè)試統(tǒng)一于一個(gè)平臺(tái)
??通過(guò)自動(dòng)化減少測(cè)試變異性
??在不犧牲精度的前提下提高吞吐量
??實(shí)現(xiàn)可擴(kuò)展的、面向量產(chǎn)的工作流程
對(duì)于工程師和制造商而言，這意味著更快的產(chǎn)品上市時(shí)間、更高的良率，以及對(duì)器件性能更強(qiáng)的信心。
面向量產(chǎn)的硅光子測(cè)試——為規(guī)?；瘮U(kuò)產(chǎn)而設(shè)計(jì)
TRITON 標(biāo)志著硅光子器件晶圓級(jí)測(cè)試方式的重大轉(zhuǎn)變。
通過(guò)彌合研發(fā)與大規(guī)模量產(chǎn)之間的鴻溝，它為團(tuán)隊(duì)提供了一種可擴(kuò)展、自動(dòng)化且高度一致的晶圓測(cè)試方法，同時(shí)絲毫不妥協(xié)精度。
在這個(gè)性能、可靠性和速度至關(guān)重要的行業(yè)中，TRITON 為下一代硅光子制造奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
自動(dòng)化測(cè)試軟件平臺(tái)
和創(chuàng)聯(lián)合科技的測(cè)試軟件平臺(tái)以行業(yè)領(lǐng)先的自動(dòng)化理念為核心，匯聚多年一線實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)與持續(xù)創(chuàng)新能力，打造新一代高性能測(cè)試解決方案。平臺(tái)采用先進(jìn)的模塊化架構(gòu)與高度可擴(kuò)展設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備快速集成、流程靈活編排與系統(tǒng)深度定制，輕松應(yīng)對(duì)多樣化、復(fù)雜化的測(cè)試挑戰(zhàn)。
從研發(fā)驗(yàn)證到規(guī)模量產(chǎn)，從單機(jī)部署到整線集成，平臺(tái)全面覆蓋企業(yè)全生命周期測(cè)試需求。憑借穩(wěn)定可靠的系統(tǒng)架構(gòu)、智能高效的流程控制與精細(xì)化的數(shù)據(jù)管理能力，幫助企業(yè)顯著提升測(cè)試效率、降低運(yùn)營(yíng)成本、保障品質(zhì)一致性，加速產(chǎn)品迭代與市場(chǎng)落地。
以技術(shù)驅(qū)動(dòng)效率，以平臺(tái)賦能未來(lái)——助力企業(yè)構(gòu)建更智能、更高效、更具競(jìng)爭(zhēng)力的自動(dòng)化測(cè)試生態(tài)。
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