光源從Keysight 5517系列激光器發(fā)出，通過應(yīng)用分光鏡把光源分成三路（其中Z軸通過結(jié)構(gòu)件固定在XY軸平面上方），光束打到全對稱差分干涉儀上。10715A 全對稱差分干涉儀能夠在提供的參考平面鏡和測量平面鏡之間執(zhí)行差分測量。，它提供出色的長期穩(wěn)定性。 10715A 可最大限度減少死程（deadpath），并且由于通過干涉儀的整個光路都是共模的，所以它可消除測量中的熱漂移。

客戶的樣品臺上當(dāng)溫度發(fā)生變化，其上固定的反射鏡位置變化，可通過軟件讀取數(shù)據(jù)，物體熱膨脹系數(shù)由溫度變化量和三維位置變化量計算得到。