我司為中國計(jì)量科學(xué)研究院提供的Keysight 5519系列激光干涉儀，構(gòu)成了80m大長度測量測系統(tǒng)。該裝置為國內(nèi)最長、精度最高的大長度標(biāo)準(zhǔn)裝置基準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)了測量范圍80m，測量不確定度0.07um+0.07×10-6L (k=2)，達(dá)到國際先進(jìn)水平。

通過上圖所示的三臺(tái)激光干涉儀和相應(yīng)鏡組，一次性完成xyz三軸光路的校準(zhǔn)測試。極大的提高了測試、檢定效率，即使在橫向最遠(yuǎn)端也可進(jìn)行另外兩個(gè)軸的校準(zhǔn)。