8寸探針臺(tái)
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8寸探針臺(tái)

Summit200為研發(fā)、器件表征、建模或者小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，確保低噪聲、DC、RF、

mmW和THZ的精確測(cè)量，確保以最快的速度獲取精確數(shù)據(jù)，可以提供半自動(dòng)或者全自動(dòng)方案。

Summit200為研發(fā)、器件表征、建?；蛐∨可a(chǎn)而設(shè)計(jì)，確保低噪聲、DC、RF、mmW和THz的精確測(cè)量，確保以最快的速度獲取精確數(shù)據(jù)，可提供半自動(dòng)或全自動(dòng)方案。

新一代探針臺(tái)采用PureLineTM技術(shù)，實(shí)現(xiàn)目前市場(chǎng)上的最低噪聲測(cè)量方案。AttoGuard?和MicroChamber?專利技術(shù)顯著提升低漏電和小電容的測(cè)試精度。新型快速200mm上料平臺(tái)一次性可放50片晶圓的高吞吐量，-60℃到300℃的寬溫度范圍為科學(xué)家、研發(fā)人員、測(cè)試工程師和生產(chǎn)操作人員快速完成任務(wù)所需的一切。

SUMMIT200探針臺(tái)支持Contact Intelligence?–一種實(shí)現(xiàn)自主半導(dǎo)體測(cè)試的獨(dú)特技術(shù)。創(chuàng)新的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和先進(jìn)的圖像處理功能的強(qiáng)大組合提供了獨(dú)立于操作員的解決方案，可在任何時(shí)間和溫度下獲得高度可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。

憑借廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和滿足任何未來(lái)需要的升級(jí)途徑，SUMMIT200 提供了最高級(jí)的 200 mm 探針臺(tái)平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有及未來(lái)器件和 IC 的快速、高準(zhǔn)確度和大容量測(cè)量。


  • 產(chǎn)品特點(diǎn)
  • 主要參數(shù)

l佳的IV / CV測(cè)量方案，PureLine，AutoGuard和下一代MicroChamber技術(shù)為高精度低噪聲和1/f測(cè)量提供保證

l借助成套的射頻測(cè)量工具和Wincal，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)與倫比的射頻/mmW（毫米波）校準(zhǔn)和測(cè)量

l高通量UT / MT（多種溫度下的無(wú)人值守測(cè)試）與VueTrack?和高溫穩(wěn)定性（HTS）技術(shù)

leVue數(shù)字成像系統(tǒng)具有增強(qiáng)的光學(xué)可視化，快速設(shè)置以及管芯和晶圓導(dǎo)航功能

l電動(dòng)針座和VueTrack專業(yè)版 實(shí)現(xiàn)主動(dòng)熱補(bǔ)償和精準(zhǔn)亞微米級(jí)定位

l只加熱或者-60°C 至 +300°C 的完整溫度范圍可選擇，溫度遷移效率比市場(chǎng)上其他系統(tǒng)快15%

lMicroVac?和FemtoGuard?技術(shù)，提供超低的測(cè)量噪聲和可控的漏電流，低殘余電容確保重復(fù)先進(jìn)測(cè)量的精度和速度

l全面的對(duì)齊功能–從簡(jiǎn)單的晶圓對(duì)齊和對(duì)位到先進(jìn)的自動(dòng)化半導(dǎo)體測(cè)量，實(shí)現(xiàn)變溫條件下自動(dòng)探針到pad對(duì)準(zhǔn)


8寸探針臺(tái)

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