基于T-Wave探針與Infinity Waveguide探針構(gòu)成的一套完整的500GHz在片表征測(cè)量解決方案，專為應(yīng)對(duì)毫米波與亞太赫茲器件測(cè)試挑戰(zhàn)而設(shè)計(jì)。該方案支持高達(dá)500GHz乃至1.1THz的晶圓級(jí)電學(xué)性能驗(yàn)證，滿足硅基CMOS、SiGe等先進(jìn)工藝器件的建模與表征需求。

T-Wave探針系列提供波導(dǎo)頻段及寬帶雙頻段配置，確保在毫米波至亞毫米波范圍內(nèi)的測(cè)量精度與可重復(fù)性。Infinity Waveguide探針則通過(guò)創(chuàng)新的薄膜GSG接觸端設(shè)計(jì)，有效抑制500GHz以上頻段的探針尖端雜散場(chǎng)，在50微米焊盤上實(shí)現(xiàn)低接觸電阻，顯著提升測(cè)量穩(wěn)定性與抗串?dāng)_性能。兩者協(xié)同形成從校準(zhǔn)、耦合到場(chǎng)控制的技術(shù)閉環(huán)，為5G/6G通信、太赫茲傳感等領(lǐng)域的研發(fā)與量產(chǎn)提供可靠保障。

和創(chuàng)聯(lián)合科技為該方案提供全方位系統(tǒng)集成，集成全球領(lǐng)先測(cè)試儀表與探針臺(tái)，并開(kāi)發(fā)定制化測(cè)試軟件。軟件支持客制化界面與開(kāi)放式參數(shù)配置，具備全自動(dòng)測(cè)量、直觀GUI及數(shù)據(jù)二次處理功能，實(shí)現(xiàn)從硬件控制到結(jié)果分析的完整流程。通過(guò)硬件、軟件與技術(shù)支持的三位一體服務(wù)，本方案在確保卓越射頻性能的同時(shí)，兼顧量產(chǎn)穩(wěn)定性與研發(fā)效率，為高頻器件開(kāi)發(fā)提供堅(jiān)實(shí)支撐。