光源從Keysight 5517系列激光器發(fā)出，通過應(yīng)用分光鏡/干涉鏡/轉(zhuǎn)折鏡等，入射客戶的待測光學(xué)組件，出射后再通過鏡組連接光纖最終回到接收器。整個光路形成閉環(huán)，當(dāng)待測組件發(fā)生位移，可通過軟件讀取數(shù)據(jù)。

實現(xiàn)了精密運動臺閉環(huán)測量系統(tǒng)后,通過實驗對其定位精度及運動精度進行分析,由實驗數(shù)據(jù)可知,其X、Y、Z單軸重復(fù)定位精度、三軸重復(fù)定位精度及不同速度下的定位精度都較高,且通過多次測量得到的誤差曲線波動較小,控制系統(tǒng)穩(wěn)定可靠。