光源從Keysight 5517系列激光器發(fā)出，應(yīng)用10717A波長跟蹤器和多軸測量鏡組進行測試。跟蹤空氣折射率的變化，對環(huán)境變化進行光學(xué)補償，以減小環(huán)境溫度等因素影響波長輕微變化所帶來的結(jié)果偏差。多軸系統(tǒng)客戶的位移臺發(fā)生一個極小的位移，可通過軟件讀取數(shù)據(jù)，這個數(shù)據(jù)分辨率在納米級。

半導(dǎo)體光刻測量系統(tǒng)，被測物與探測系統(tǒng)之間一般要產(chǎn)生相對運動才能測出所需參數(shù)。 位移系統(tǒng)的作用就是產(chǎn)生探針相對于樣品的掃描運動，是其中最基礎(chǔ)的部分。激光干涉儀對光刻系統(tǒng)中平臺、運動控制系統(tǒng)、自動對位系統(tǒng)等進行校準(zhǔn)，保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性。