光源從Keysight 5517系列激光器發(fā)出，通過應(yīng)用分光鏡把光源分成三路（其中Z軸通過結(jié)構(gòu)件固定在XY軸平面上方），在干涉鏡上發(fā)生干涉，到達反射鏡返回光路最終回到接受機中。接收機將光信號轉(zhuǎn)化為電信號，回到主控電腦的PCI板卡中供抓取數(shù)據(jù)?？蛻舻奈灰婆_發(fā)生一個極小的位移，可通過軟件讀取數(shù)據(jù)，這個數(shù)據(jù)分辨率在納米級。

小位移納米級測量系統(tǒng)，被測物與探測系統(tǒng)之間一般要產(chǎn)生相對運動才能測出所需參數(shù)。 位移系統(tǒng)的作用就是產(chǎn)生探針相對于樣品的掃描運動，它是整個納米探測系統(tǒng)的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)框架，是其中最基礎(chǔ)的部分。且通過多次測量得到的誤差曲線波動較小,其測量偏移量值達到納米級別，最高至0.15nm