l簡單易用 -不太有經(jīng)驗(yàn)的操作人員也能通過簡單地?fù)逑乱粋€(gè)按鈕完成 DC 測量。這降低了讓有經(jīng)驗(yàn)的用戶在每個(gè)系統(tǒng)上都花費(fèi)全部時(shí)間的需要。
l縮短了穩(wěn)定時(shí)間–如果探針偏離了與pad對準(zhǔn)的狀態(tài),則系統(tǒng)將自動把它們重新對準(zhǔn),這樣可減少測試時(shí)間并增加吞吐量。
l無人值守式的使用 -可在夜間或周末將測量作業(yè)置于運(yùn)行狀態(tài),在不同的溫度下測試晶圓上的所有器件,并不需要操作人員的干預(yù)。