4寸手動(dòng)超低溫探針臺(tái)
4寸手動(dòng)超低溫探針臺(tái)
4寸手動(dòng)超低溫探針臺(tái)
4寸手動(dòng)超低溫探針臺(tái)

入門級(jí)手動(dòng)低溫晶圓探測(cè)<7 K.

PLC50是高精度,高性價(jià)比的探針臺(tái),適用于在高真空環(huán)境下達(dá)到100 mm的晶圓和基板低溫用液氮低至77 K或用液氦低至7 K.它專為實(shí)驗(yàn)室要求而設(shè)計(jì),支持廣泛的應(yīng)用,包括最新硅,化合物半導(dǎo)體和超導(dǎo)體器件的直流和射頻測(cè)量,MEMS和光電測(cè)試。

  • 產(chǎn)品特點(diǎn)
  • 主要參數(shù)

l靈活性:用于晶圓的不同基板載體可達(dá)100 mm或單個(gè)模具,多達(dá)六個(gè)定位器,用液氮或氦使用,根據(jù)目標(biāo)溫度,與大氣中的條件下,一個(gè)開(kāi)放的腔室蓋可以探測(cè),專為實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,涵蓋廣泛的測(cè)量(I-V、C-V、RF、MEMS、OPTO)。

l穩(wěn)定性:獨(dú)立冷卻冷屏,探針座被置于真空室的內(nèi)部,短且穩(wěn)定的探針臂,具有內(nèi)置隔振設(shè)計(jì)的堅(jiān)固探針臺(tái)框架,冰和探測(cè)下降到77 K(液氮)或低于7 K(液態(tài)氦)無(wú)冷凝,精確的探針定位,卓越的測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)精度,極佳的減振作用。

l簡(jiǎn)單易用:人體工學(xué)和簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì),簡(jiǎn)單的顯微鏡操作,鉸接頂面蓋,舒適和簡(jiǎn)易的操作,DUT 的快速且符合人體工程學(xué)的變更,頂側(cè)獲得探針和樣品。

l高測(cè)量吞吐率:線性載物臺(tái)和定位器的獨(dú)立控制,接觸/分離行程探針壓板,整個(gè)晶圓的快速、手動(dòng)“分步及重復(fù)”測(cè)試,所有探針的同時(shí)接觸和分離。


XY行程:50mm*50mm或者80mm*80mm

解析度:5um

接觸分離高度:250um

顯微鏡變倍:7X

放大倍率:0.38X-2.6X

視野大?。?2.8 mm x 17.1 mm to 1.8 mm x 2.4 mm

最高溫度:400K或者可選675K

最低溫度:7K(最終的溫度取決探針的數(shù)量與類型)

真空室:600*300(R*H)

定位器:VCP110高真空探頭定位器最多6個(gè)

定位器行程XYZ:12mm

真空值:5E-5mbar

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