l靈活性:用于晶圓的不同基板載體可達(dá)100 mm或單個(gè)模具,多達(dá)六個(gè)定位器,用液氮或氦使用,根據(jù)目標(biāo)溫度,與大氣中的條件下,一個(gè)開(kāi)放的腔室蓋可以探測(cè),專為實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,涵蓋廣泛的測(cè)量(I-V、C-V、RF、MEMS、OPTO)。
l穩(wěn)定性:獨(dú)立冷卻冷屏,探針座被置于真空室的內(nèi)部,短且穩(wěn)定的探針臂,具有內(nèi)置隔振設(shè)計(jì)的堅(jiān)固探針臺(tái)框架,冰和探測(cè)下降到77 K(液氮)或低于7 K(液態(tài)氦)無(wú)冷凝,精確的探針定位,卓越的測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)精度,極佳的減振作用。
l簡(jiǎn)單易用:人體工學(xué)和簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì),簡(jiǎn)單的顯微鏡操作,鉸接頂面蓋,舒適和簡(jiǎn)易的操作,DUT 的快速且符合人體工程學(xué)的變更,頂側(cè)獲得探針和樣品。
l高測(cè)量吞吐率:線性載物臺(tái)和定位器的獨(dú)立控制,接觸/分離行程探針壓板,整個(gè)晶圓的快速、手動(dòng)“分步及重復(fù)”測(cè)試,所有探針的同時(shí)接觸和分離。