l光視:晶圓和裸片級(jí)光子學(xué)探測(cè)技術(shù)的革命性進(jìn)步,實(shí)時(shí)原位校準(zhǔn),單模測(cè)試,真正的芯片級(jí)邊緣耦合,原位功率測(cè)量,先進(jìn)的校準(zhǔn)技術(shù),實(shí)現(xiàn)自主測(cè)量。
l水平模級(jí)邊緣耦合:測(cè)試結(jié)果的最高準(zhǔn)確性,最低的耦合損耗,獨(dú)家自動(dòng)化的光纖到小平面對(duì)準(zhǔn)技術(shù),可重復(fù)獲得測(cè)量結(jié)果,通過(guò)防撞技術(shù)降低損壞光纖的風(fēng)險(xiǎn),經(jīng)驗(yàn)不足的用戶(hù)易于使用,能夠緊密模擬現(xiàn)實(shí)條件,并且設(shè)備性能最接近最終應(yīng)用。
l晶圓級(jí)邊緣耦合:硬件和軟件功能的創(chuàng)新組合,可在晶圓級(jí)溝槽中對(duì)準(zhǔn)和優(yōu)化光纖/陣列,最小的溝槽尺寸將耦合損耗降至最低,即使經(jīng)驗(yàn)不足的用戶(hù)也可以輕松設(shè)置,獨(dú)特的光纖到端面間隙對(duì)齊技術(shù),可重復(fù)獲得測(cè)量結(jié)果,通過(guò)防撞技術(shù)降低損壞光纖的風(fēng)險(xiǎn)。
l垂直聯(lián)軸器:垂直耦合至晶圓級(jí)光柵耦合器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),定位硬件已精確地校準(zhǔn)到探針臺(tái),并準(zhǔn)備在幾分鐘之內(nèi)執(zhí)行管芯到管芯的光學(xué)優(yōu)化,獨(dú)有的樞軸點(diǎn)校準(zhǔn)可確定光纖/陣列尖端最小平移的最佳點(diǎn),Search First Light功能可自動(dòng)確定初始位置以進(jìn)行優(yōu)化,其他集成功能:入射角校準(zhǔn),光學(xué)旋轉(zhuǎn)掃描,光學(xué)掃描數(shù)據(jù)分析,光學(xué)跟蹤,對(duì)準(zhǔn)光學(xué)探頭。
l熱能力:黑暗,屏蔽且無(wú)霜,-40°C至+ 125°C,唯一可用的解決方案可以在低溫下最大程度地減少氣流對(duì)光纖/光纖陣列的影響,從而獲得穩(wěn)定和可重復(fù)的測(cè)量結(jié)果,獨(dú)特的ITO涂層TopHat窗口,易于設(shè)置,可在多個(gè)溫度下進(jìn)行免提自動(dòng)校準(zhǔn)和重新校準(zhǔn)。
l聯(lián)盟掌握了SiPh測(cè)試解決方案的關(guān)鍵:強(qiáng)大的首選合作伙伴關(guān)系是德科技測(cè)量?jī)x器,測(cè)試執(zhí)行器自動(dòng)化并集成到Keysight Pathwave自動(dòng)化測(cè)試,世界一流的精密定位,成為首選合作伙伴物理儀器(PI),通過(guò)創(chuàng)新的工程團(tuán)隊(duì)充分利用專(zhuān)業(yè)知識(shí)。
l獨(dú)家自動(dòng)校準(zhǔn):領(lǐng)先的自動(dòng)化功能集,可對(duì)探針臺(tái)進(jìn)行光學(xué)定位系統(tǒng)的關(guān)鍵校準(zhǔn),循序漸進(jìn)的晶圓探測(cè)高度訓(xùn)練,CalVue利用獨(dú)特設(shè)計(jì)的后視鏡技術(shù)無(wú)需外部光線(xiàn)即可查看光纖/陣列的所有方面,并實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)實(shí)時(shí)自動(dòng)校準(zhǔn),其他獨(dú)家校準(zhǔn)功能:電機(jī)校準(zhǔn),z位移校準(zhǔn),θ校準(zhǔn),pzt校準(zhǔn),平面度校準(zhǔn),自動(dòng)樞軸點(diǎn)校準(zhǔn)。
l經(jīng)驗(yàn)證的性能:獨(dú)家FormFactor開(kāi)發(fā)的自動(dòng)化測(cè)試方法,通過(guò)測(cè)量耦合功率的可重復(fù)性,展示了已校準(zhǔn)至探針臺(tái)的定位解決方案的全部性能,驗(yàn)證900次測(cè)量中的耦合功率結(jié)果是否小于0.3 dB,在每次測(cè)量之間,所有溶液元素都將移動(dòng),包括晶片卡盤(pán),六腳架臺(tái)和壓電臺(tái)架,真正展示了FormFactor自主硅光子學(xué)測(cè)量助手的綜合性能和耐用性。
lFormFactor SiPh-工具:強(qiáng)大的FormFactor開(kāi)發(fā)的軟件包,包括一個(gè)廣泛的工具集,用于啟用和促進(jìn)光學(xué)探測(cè),通過(guò)將探針臺(tái)機(jī)器視覺(jué)功能與光學(xué)定位和測(cè)試設(shè)備集成在一起,使手動(dòng)任務(wù)自動(dòng)化,功能:測(cè)量位置培訓(xùn),晶圓培訓(xùn),自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能,校準(zhǔn)晶圓驗(yàn)證,光學(xué)對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證,子管芯管理,多種工具,用于捕獲,記錄和解釋數(shù)據(jù)。
lFormFactor光子控制器接口(PCI):FormFactor開(kāi)發(fā)的圖形用戶(hù)界面可手動(dòng)控制光學(xué)定位系統(tǒng),也可用于設(shè)置掃描參數(shù)配置并執(zhí)行初始光學(xué)對(duì)準(zhǔn)功能,對(duì)齊后,所有校準(zhǔn)功能將自動(dòng)實(shí)現(xiàn),并通過(guò)SiPh-Tools執(zhí)行。
l可重構(gòu)光纖臂:可在單光纖,光纖陣列和邊緣耦合器固定器之間配置,針對(duì)工程和批量環(huán)境的靈活性,更換光纖支架之后,F(xiàn)ormFactor的自動(dòng)校準(zhǔn)程序?qū)⑹鼓趲追昼妰?nèi)備份并運(yùn)行,定制設(shè)計(jì)的納米精度集成Z位移傳感器最大程度地提高了晶片的可測(cè)試區(qū)域,并確保了準(zhǔn)確且可重復(fù)的數(shù)據(jù)收集。