橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學(xué)測量技術(shù)，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。而且，橢圓偏振光譜既能夠?qū)崿F(xiàn)在線監(jiān)測又能進(jìn)行原位測試，可根據(jù)各類不同的應(yīng)用需要提供靜態(tài)和動態(tài)測量模式，應(yīng)用非常廣泛。

MCLS650EL冷熱臺基于標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振測量平臺配合進(jìn)行溫度相關(guān)的橢圓偏振測量。該設(shè)備能夠在較寬的溫度范圍內(nèi)（-195°C 至 650°C）實(shí)現(xiàn)精確控制，并具備氣體吹掃功能，同時(shí)還提供了電探針選項(xiàng)以及真空或濕度控制功能。樣品可以通過加熱至接近所需溫度的溫度范圍內(nèi)（加熱速率最高可達(dá)每分鐘 150℃）來快速進(jìn)行特性分析，然后將加熱速度減慢至每分鐘幾十分之一度，以便仔細(xì)觀察樣品的變化情況。

MCLS650EL冷熱臺是一個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)，配備有光學(xué)窗口，可用于在入射角為 70°時(shí)進(jìn)行橢圓偏振測量。此外，該系統(tǒng)也可作為開放式系統(tǒng)運(yùn)行，適用于其他入射角度。