隨著市場(chǎng)對(duì)更高處理速度、更低能耗及更復(fù)雜光子器件需求的持續(xù)增長，硅光技術(shù)已成為關(guān)鍵基石技術(shù)。然而長期以來，工程師們始終缺乏在晶圓層級(jí)測(cè)試這類精密芯片的可靠方案。硅光測(cè)試所需的微米級(jí)精度，使得傳統(tǒng)測(cè)試方法效率低下、結(jié)果不穩(wěn)定，難以滿足實(shí)際生產(chǎn)需求。

FormFactor與IHP萊布尼茨高性能微電子研究所很早就意識(shí)到了這一挑戰(zhàn)。雙方長期合作為一項(xiàng)重大突破奠定了基礎(chǔ)：我們成功開發(fā)出全球首臺(tái)用于晶圓級(jí)測(cè)量的硅光探針測(cè)試系統(tǒng)。這一里程碑式的成就，正持續(xù)推動(dòng)整個(gè)硅光領(lǐng)域的創(chuàng)新進(jìn)程。

合作鑄就突破

IHP提供了先進(jìn)的測(cè)試結(jié)構(gòu)與實(shí)際性能要求，F(xiàn)ormFactor則貢獻(xiàn)了深厚的工程專長與自動(dòng)化能力。通過并肩協(xié)作，雙方團(tuán)隊(duì)將多年積累的共享知識(shí)轉(zhuǎn)化為切實(shí)可行的解決方案，專門應(yīng)對(duì)新一代光子集成電路的測(cè)試復(fù)雜性。

曾經(jīng)依賴緩慢手工操作的測(cè)試流程，如今已轉(zhuǎn)變?yōu)樽詣?dòng)化、高精度且可重復(fù)的過程，在極短時(shí)間內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)超以往的測(cè)量準(zhǔn)確性。

核心成果速覽

??六維對(duì)準(zhǔn)技術(shù)：

FormFactor研發(fā)出hexapod與NanoCube探針座的高精度組合系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了光纖的超高精度定位，這是確保穩(wěn)定光耦合的關(guān)鍵突破。

??自動(dòng)化校準(zhǔn)流程：

全新軟件驅(qū)動(dòng)方案替代了勞動(dòng)密集型人工設(shè)置，能夠快速、可重復(fù)地完成掃描、校準(zhǔn)與測(cè)量全流程。

??OptoVue + CalVue成像創(chuàng)新：

巧妙的鏡面設(shè)計(jì)使工程師能從以往無法捕捉的角度觀察光纖方位，并支持在晶圓上進(jìn)行原位校準(zhǔn)而無需中斷作業(yè)。

??Pharos探針技術(shù)：

通過采用3D打印光學(xué)參考尖端，Pharos探針系列可實(shí)現(xiàn)真正的晶圓級(jí)邊緣耦合，同時(shí)將損耗降至最低，并兼容200 mm與300 mm探針臺(tái)。

這項(xiàng)合作的成果是一款獲得專利、行業(yè)領(lǐng)先的硅光子探針測(cè)試系統(tǒng)，它將原本需要數(shù)日甚至數(shù)月的測(cè)試工作縮短至數(shù)小時(shí)內(nèi)完成。該系統(tǒng)使研究人員、設(shè)計(jì)人員和制造商能夠以更快速度推進(jìn)研發(fā)、更精準(zhǔn)地進(jìn)行驗(yàn)證，并滿懷信心地將尖端光子技術(shù)推向市場(chǎng)。

更重要的是，這個(gè)成功案例彰顯了長期協(xié)作與工程實(shí)踐相結(jié)合所能產(chǎn)生的巨大能量——當(dāng)兩者匯聚，就能真正攻克產(chǎn)業(yè)面臨的重大挑戰(zhàn)。