第三代PureLine?技術(shù)所實(shí)現(xiàn)的晶圓級噪聲測試黃金標(biāo)準(zhǔn)，匯集了我們在專利成果、電路設(shè)計知識與測量系統(tǒng)知識產(chǎn)權(quán)方面的深厚積累，能為被測器件營造出近乎零噪聲的有效測試環(huán)境。
相較于搭載于Elite300與CM300探針臺的舊版PureLine系統(tǒng)，全新PureLine 3技術(shù)可消除97%的環(huán)境噪聲，將頻譜噪聲性能提升32倍。這項技術(shù)能實(shí)現(xiàn)高精度的晶圓級器件性能測量，并為集成電路設(shè)計師生成精準(zhǔn)的器件模型。
通過采用集成PureLine 3技術(shù)的新型CM300xi-ULN探針系統(tǒng)，器件測試工程師、可靠性工程師與集成電路設(shè)計工程師皆可受益于這項前沿技術(shù)。如今針對先進(jìn)材料、封裝互連結(jié)構(gòu)、晶體管及集成電路的精準(zhǔn)閃爍噪聲、隨機(jī)電報噪聲與相位噪聲測量，均可實(shí)現(xiàn)簡便自動化測試，從而大幅縮短數(shù)據(jù)獲取周期。
PureLine 3技術(shù)已集成至CM300xi-ULN探針系統(tǒng)的多個核心組件，包括：
??超低噪聲微型測試腔室：該組件構(gòu)建于探針臺內(nèi)部，為被測器件及chuck區(qū)域提供直接包圍的關(guān)鍵探測環(huán)境，是實(shí)現(xiàn)低噪聲測試的核心保障。增強(qiáng)型微型測試腔室構(gòu)建了完整的電磁干擾/射頻干擾屏蔽區(qū)域，其效果猶如大型實(shí)驗(yàn)室法拉第籠的微型局部版本。此外，該腔室還能提供必要的暗光干燥環(huán)境，這對光敏晶體管測量以及零下溫度（≤-60°C）無凝霜工況下的器件測試至關(guān)重要。
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??超低噪聲電源調(diào)節(jié)單元：作為超低噪聲系統(tǒng)的核心組件，該單元為整個系統(tǒng)（包括探針臺及測量儀器）提供全面管理及濾波后的交流電源。機(jī)架式超低噪聲電源調(diào)節(jié)單元采用專利PureLine 3技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了緊湊型設(shè)計及低場輻射特性，并構(gòu)成測試單元電源管理系統(tǒng)的技術(shù)基礎(chǔ)，可消除探針臺與儀器間引發(fā)顯著低頻噪聲的接地回路。該電源單元為探針臺、溫控冷卻系統(tǒng)及控制器、晶圓裝載機(jī)、電動配件以及所有測試儀器供應(yīng)潔凈濾波的交流電源。此外，該單元還提供統(tǒng)一的緊急關(guān)閉/應(yīng)急電源控制系統(tǒng)，確保整個系統(tǒng)及所有儀器安全運(yùn)行。
??超低噪聲熱濾波模塊：所有配備溫控晶圓chuck的超低噪聲系統(tǒng)均內(nèi)置此模塊。該模塊對實(shí)現(xiàn)溫控條件下的超低噪聲探測至關(guān)重要，能有效阻隔外部溫控系統(tǒng)產(chǎn)生的有害噪聲侵入關(guān)鍵的低噪聲測量環(huán)境。這個主動式模塊可顯著降低高頻噪聲，對1MHz以上頻段的噪聲抑制最高可達(dá)30分貝。
??超低噪聲單點(diǎn)接地與線纜系統(tǒng)：每套超低噪聲系統(tǒng)均配備單點(diǎn)接地系統(tǒng)，為所有探針臺配件提供低阻抗接地連接。PureLine 3設(shè)計規(guī)范在機(jī)械組件中強(qiáng)制采用低阻抗材料與硬連接方案，從而有效抑制天線效應(yīng)向測量路徑注入干擾性射頻噪聲。
??適用于鎖相環(huán)相位噪聲精準(zhǔn)測量的超低噪聲源表濾波模塊：針對鎖相環(huán)電路與壓控振蕩器等器件的高精度相位噪聲測量，這些專為源測量單元設(shè)計的直流濾波模塊可與CM300xi-ULN探針系統(tǒng)配套使用，提供超靜噪/高純凈度的直流供電電壓。高性能直流源表濾波模塊在最高100mA直流電流負(fù)載下，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)100分貝的衰減性能（頻率范圍50Hz至80MHz）。每個源表濾波模塊支持單通道工作，多個模塊可組合配置，實(shí)現(xiàn)多通道潔凈電源輸出。
??超低噪聲智能接觸模塊：搭載PureLine 3降噪技術(shù)的智能接觸模塊（支持1/2/4探針座系統(tǒng)），使CM300xi-ULN成為全球首款能在30微米焊盤上實(shí)現(xiàn)閃爍噪聲自動溫控測試的探針臺。通過結(jié)合自主直流測量助手系統(tǒng)，CM300xi-ULN可配置采用超低噪聲優(yōu)化的智能接觸模塊與電動直流探針探針座，實(shí)現(xiàn)全自動直流及閃爍噪聲探測，支持多溫度點(diǎn)連續(xù)測試，真正達(dá)成全天候無人值守自動化運(yùn)行。
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