測(cè)試挑戰(zhàn)
硅基晶體管的柵極長(zhǎng)度的縮小導(dǎo)致導(dǎo)通狀態(tài)下的漏源電阻?(Rdson) 極低，這對(duì)測(cè)試工程師實(shí)現(xiàn)精確和可重復(fù)的晶圓測(cè)量提出了挑戰(zhàn)。此外，為了降低光刻、原型設(shè)計(jì)和生產(chǎn)成本，減小了鋁蓋銅測(cè)試電極的尺寸，當(dāng)鋁蓋層被扎針和去除后，暴露出的底層銅會(huì)氧化，這會(huì)使得以低接觸電阻重新測(cè)試同一器件十分困難。
解決方案
因此，使用一種新型的Guarded True Kelvin直流探針以及相應(yīng)的測(cè)試和建模策略來(lái)應(yīng)對(duì)這些新興的測(cè)試挑戰(zhàn)至關(guān)重要。這種新型的Guarded True Kelvin直流探針設(shè)計(jì)包括一個(gè)新型的Guarded True Kelvin探針架，將force和sense連接擴(kuò)展到具有 2個(gè)獨(dú)立 MEMS 針尖的可移動(dòng)陶瓷探針刀片。這有助于在器件測(cè)試電極 形成真正的開爾文探針接觸，消除了所有寄生電阻和每次扎針到測(cè)試電極上探針接觸電阻的不一致性。
線上研討會(huì)
在即將到來(lái)的網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)中，FormFactor的謝春明博士（Dr. Choon Beng Sia）將同我們探討這款新型的True Kelvin 分析直流探針，以及新的測(cè)試結(jié)果和建模策略。點(diǎn)擊下方鏈接即可報(bào)名參會(huì)。
Webinar預(yù)告：
和創(chuàng)聯(lián)合12年在片測(cè)量為您保駕護(hù)航
如果您有任何關(guān)于這款True Kelvin分析直流探針的測(cè)試需求，抑或是任何關(guān)于探針臺(tái)的測(cè)試/集成需求，歡迎聯(lián)系和創(chuàng)聯(lián)合進(jìn)行咨詢，我們將竭誠(chéng)為您提供專業(yè)的技術(shù)支持與服務(wù)。此外，在測(cè)試中，若搭配使用和創(chuàng)自主研發(fā)的晶圓級(jí)的自動(dòng)測(cè)試平臺(tái)，測(cè)試工程師可以利用自動(dòng)化測(cè)試軟件平臺(tái)的計(jì)算和數(shù)據(jù)處理能力，減少手動(dòng)干預(yù)的需求，從而提高測(cè)試效率。例如，自動(dòng)執(zhí)行測(cè)量與數(shù)據(jù)分析過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)顯著的時(shí)間節(jié)省。軟件平臺(tái)亦可幫助實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)檢查測(cè)測(cè)試過(guò)程，快速識(shí)別并定位故障。這在減少產(chǎn)品開發(fā)周期和確保測(cè)試質(zhì)量方面至關(guān)重要。
晶圓級(jí)測(cè)量平臺(tái)
1.?提供多級(jí)別權(quán)限管理，方便用戶實(shí)現(xiàn)分權(quán)管理。
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2.?提供可視化設(shè)備管理功能，支持標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議設(shè)備(USB/GPIB/LAN/Serial)的擴(kuò)展與管理，簡(jiǎn)化設(shè)備配置與監(jiān)控過(guò)程。
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3.?支持隊(duì)列式測(cè)試任務(wù)的定義與管理，提供自定義編程接口，便于添加新測(cè)試項(xiàng)目并靈活擴(kuò)展功能。
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4.?支持同時(shí)顯示所有任務(wù)的測(cè)試結(jié)果圖和匯總文件，適配研發(fā)模式和量產(chǎn)模式。
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5.?提供subdie級(jí)別的wafermap視圖，支持機(jī)臺(tái)便攜操作，具備多功能分Bin及測(cè)試數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)功能。
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6.?提供完善的日志管理功能，支持日志導(dǎo)出、自動(dòng)異常報(bào)告及自動(dòng)錯(cuò)誤處理。
7.?完全支持半自動(dòng)/全自動(dòng)平臺(tái)，可視化管理
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8.?提供定制服務(wù)，可根據(jù)客戶需求定制功能，如自動(dòng)清針、自動(dòng)報(bào)警等。
9.?大數(shù)據(jù)管理軟件
針對(duì)晶圓級(jí)測(cè)試中的批量數(shù)據(jù)，和創(chuàng)聯(lián)合亦推出了大數(shù)據(jù)管理軟件，與晶圓級(jí)自動(dòng)測(cè)試軟件平臺(tái)相結(jié)合，使得數(shù)據(jù)跟蹤和管理更加系統(tǒng)化。工程師可以更容易地收集、分析和報(bào)告測(cè)試數(shù)據(jù)，從而優(yōu)化測(cè)試流程，并作出基于數(shù)據(jù)的設(shè)計(jì)改進(jìn)決策。和創(chuàng)的大數(shù)據(jù)管理軟件具有以下功能和顯著優(yōu)勢(shì)：
ü?支持晶圓級(jí)大批量數(shù)據(jù)管理，無(wú)縫對(duì)接和創(chuàng)軟件平臺(tái)
ü?支持自定義角色，自定義權(quán)限，保障數(shù)據(jù)安全
ü?內(nèi)置多種標(biāo)準(zhǔn)算法統(tǒng)計(jì)（如直方圖、高斯分布圖、箱線圖等），同時(shí)支持自定義算法拓展
ü?支持測(cè)試數(shù)據(jù)完美還原，器件數(shù)據(jù)矢量查看、自定義疊加對(duì)比、測(cè)試wafermap二次分Bin、匯總文件導(dǎo)出等功能
ü?定制服務(wù)，按照客戶要求偏好敏捷部署、保密開發(fā)。
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10.?視覺大模型系統(tǒng)
針對(duì)客戶的視覺需求，我們完整開發(fā)視覺大模型系統(tǒng)。
ü?可適配在片晶圓測(cè)試不同的視覺模型需求（如器件編號(hào)、器件表面狀態(tài)）。
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ü?支持快速導(dǎo)入資源，自動(dòng)降噪，智能去重，簡(jiǎn)單標(biāo)注，一鍵快速生成新模型
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ü?無(wú)縫對(duì)接和創(chuàng)測(cè)試平臺(tái)，快速準(zhǔn)確識(shí)別器件上視覺結(jié)果（如chipid、器件特征）
ü?支持編程語(yǔ)言交互程控(python/c/c++/c#/java)，適配多顯示器場(chǎng)景